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隔膜式真空閥和真空擋板閥性能特點

真空閥門的特點
真空閥門的基本特點是具有較高的氣密封（密封可靠）；對氣流的阻力盡量�。�即閥門的流導盡可能大）；密封部件耐磨性好，能反復使用、壽命長；閥體材料及密封件放氣量��；操作靈活，容易清洗安裝，性能可靠、維修方便，此外，對于超高真空閥門還要求能耐高溫烘烤（450℃）；對節流閥要求能均勻調節氣體流量。

常用真空閥門閥體的材料主要有金屬和玻璃。手動真空閥門驅動手輪采用高強度塑料材料。玻璃真空活塞又稱“考克”，一般用于玻璃真空系統、小型真空裝置、真空計規管或校準系統上。優點是制作比較容易、使用方便，易于清洗觀察，化學穩定和絕緣性好，放氣量較小等。不足之處是由于玻璃的脆性及活塞彎口處涂一層油脂，故限制了它的使用范圍，工業生產所需要的真空裝置，如真空鍍膜設備、真空冶煉設備、真空熱處理設備、空間環境模擬設備、火箭發動機模擬設備、衛星表面帶電模擬設備、粒子加速器及受控核聚變裝置、重離子加速器等都采用金屬閥門，真空閥門通常根據閥門的工作特性、傳動原理、連接方式和用途等進行分類。

根據工作壓力分：低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門。
根據用途分：截止閥、隔離閥、充（放）氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥等。
根據傳動原理分：手動閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動閥和液動式真空閥。
根據材料分：玻璃真空活塞（考克）、金屬真空閥。
根據結構特點分：擋板閥、翻板閥、蝶閥、球閥，連桿閥、隔板閥、閘閥、雙通閥、三通閥、四通直通閥和直通閥等。

（1）隔膜式真空閥
隔膜式真空閥是利用閥桿將橡膠隔膜直接壓在閥座上，用來截止或接通氣流。它常裝在被抽真空容器與各種低真空泵之間。典型的隔膜式真空閱結構圖如圖1所示。其動作原理是旋轉手柄使閥桿向下運動，將橡膠隔膜直接壓在閥座上，截止氣流。反方向旋轉手輪，閥桿向上運動，帶動橡膠隔膜離開閥座，接通氣流。
閥門主體采用鋁合金鑄造。結構簡單、質量輕、體積小，密封性能良好。采用丁腈橡膠的隔膜真空閥，用于前級和預抽低真空管道上及溫度一25~80℃的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠的隔膜真空閥，可用于高真空系統，使用溫度范圍為一30~150℃。

（2）真空擋板閥
真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運動而實現密封的。驅使閥桿運動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件，以螺紋結構為主，也可以采用平凸輪結構。圖2和圖3分別為直角式、直通式真空擋板閥結構示意圖。手動兩用的傳動部件，由電動機、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開關。當接通電源后，電動機按某一方向（如開啟方向）旋轉，通過蝸輪、蝸桿帶動閥桿向上運動使閥板上升，當閥上升到一定高度時，行程開關自動切斷電源，閥桿運動立即停止，反之亦然。手動時，松開手輪背帽，用手按一定方向轉動手輪即可，圖4為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。氣動傳動部件以壓縮干燥空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動汽缸活塞上下運動，帶動閥桿上下運動，使閥板開啟關閉，從而達到接通或停止氣流的目的。

真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統接通或截止氣流。
適用壓力范圍：軸封為橡膠時為1.3×104~10Pa；

軸封為波紋管結構時為1.3×10-5~10Pa，工作介質溫度：-25~80℃（密封件為丁腈橡膠）；一30~150℃（密封件為氟橡膠）。閥體材料：碳鋼鍍鎳或不銹鋼；閥板密封材料丁腈橡膠或氟橡膠。超高真空擋板閥用于超高真空系統接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa。閥門開啟狀態，烘烤溫度小于400℃；閥體材料為不銹鋼；閥板材料為無氧銅；軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質為潔凈的空氣或對閥門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對金屬有強腐蝕性和含有顆粒狀態灰塵的氣體情況下長期使用。

高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點，形式多樣，規格齊全，公稱尺寸DN150~1200，結構合理等，因此，被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統之中，如用于真空鍍膜設備，真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環模設備等。

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